2017/11/24 星期五

职称类别: 教授 副教授 讲师 助教
首字分类:
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王旭迪

姓 名 王旭迪

职 称 教授
职 务
所属系 真空与过程装备工程系
邮 箱 wxudi@hfut.edu.cn
电 话 0551-2901341-2009
个人基本情况
教授,工学博士。
中国计量学会真空计量专委会委员
 
教育与工作经历:

1992.09-1996.07: 合肥工业大学真空技术及设备专业本科;
1996.09-1999.05: 合肥工业大学流体机械工程(真空)专业硕士;
2001.09-2005.06: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室博士;
2005.08-2006.08: 英国卢瑟福国家实验室访问学者;
1999.05-2005.12: 合肥工业大学机械与汽车工程学院助教、讲师;
2005.12-2010.12: 合肥工业大学机械与汽车工程学院副教授;
2010.12:         合肥工业大学机械与汽车工程学院教授。
主要研究方向
1、微纳制造技术与应用:面向信息、显示和新能源器件应用,研究大面积微纳结构复制转移的关键理论、技术及其方法。
2、真空检漏与计量技术:纳流控通道、石墨烯等新型超高真空计量器具的可控制作技术及其表征、压强动态测试新原理、漏率测试方法及其系统等
开设课程
本科生课程:真空物理,微纳系统及加工;研究生课程:超高真空物理
近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖

主持或完成国家自然基金面上项目、科技部863项目等多项,参加国家重大专项、欧共体、英国EPSRC项目等四项。近年来指导研究生三人次获得“中国真空学会优秀硕士生奖学金”,四人次获得“国家奖学金”。在J. Mater. Chem.、Microelect Eng、J. Vac. Sci. Tech. A、Vacuum等国内外著名学术期刊发表论文30 余篇,授权发明专利十余项

部分项目:
•国家自然科学基金面上项目:聚合物纳流控通道的溶剂蒸发辅助自封闭机理研究(No.61574053) 2016-2019
•航天CAST-BISEE基金:真空装置内气体分子的空间输运特性研究 2015-2016
•电子集团标志性技术项目:漏率测试方法研究 2016-2017
•863探索导向类项目(No.2008AA04Z303):基于紫外压印技术的自支撑SU-8胶纳米流体系统 2008-2011
•安徽省自然基金(No.070412032):SU-8胶紫外压印技术及在纳米流体系统制作中的应用 2007-2009 
•教育部回国基金(No.07413492):SU-8胶紫外压印技术及在亚波长光栅制作中的应用 2008-2009
•企业合作项目:塑胶表面镀膜新工艺,2009-2012                                                 

部分论文:
• Aiqing Zhu, Xudi Wang* et al, Standard leak based on fluidic nanochannels, J. Vac. Sci. Technol. A(in press)
• Yongheng Zhao, Yongjun Cheng, Xudi Wang*, New leak element using anodic aluminum oxide, Vacuum 131 (2016) 111-114
• Zheng, Dingjie, Dong, Dong, Wang, Xudi*, Nanopatterning using a simple bilayer lift-off process by transfer printing based on poly(dimethylsiloxane) templates, Micro and Nano Letters, 2015(11), p 633- 636

• Dong Dong, Wei Wei, Dan Yang, Xudi Wang*, Helium gas permeability measurements of polymeric membranes using the difference method, Vacuum 121 (2015) 173-176

• Li, Xiaojun,Wang, Xudi*, et al, Fabrication of size-controllable nanofluidic channels using angled physical vapor deposition, Microelectronic Engineering, 2012, 98:647-650

• Zhang, Yuping,Wang, Xudi, et al, Aligned ultralong nanowire arrays and their application in flexible photodetector devices, Journal of Materials Chemistry, 2012, 22(29):14357-14362

• Xiaojun Li,Yong Chen,Keqiang Qiu*, Xudi Wang*, Multiple centimetre-long fluidic-channels with smooth and vertical sidewall fabricated by novel NIL mould and thermal bonding,Microelectronic Engineering,2012,98(10):720-724
• X. Wang, J. Jin, X. Li et al, Low-pressure thermal bonding, Microelectron Eng. 88 (2011) 2427–2430
• X. Li, X.Wang*, et al, Fabrication of micro/nano fluidic system combining hybrid mask-mould lithography with thermal bonding, Microelectron Eng 87(2010), 722-725

• X. Wang, L. Ge, J. Lu, S. Fu, Z Cui. Fabrication of Enclosed Nanofluidic channels by UV cured imprinting and thermal bonding of SU-8 Photoresist. Microelectron Eng. 86(2009), 1347-1349

• X. Wang, Yifang Chen, Ling Wang and Zheng Cui. Fabrication of nanoimprint template in Si with high etch rate by non-switch DRIE process. Microelectron Eng. 85(2008), 1015-1017

• X. Wang, Y. Chen, S. Fu, Z Cui. Free-standing SU-8 subwavelength gratings fabricated by UV curing imprint. Microelectron Eng. 85(2008), 910-913

• X. wang, Y. liu,X. Xu, S. Fu, Z Cui. Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition. J. Vac. Sci. Technol. A ,24 (4): 1067-1072 JUL-AUG 2006

• X Wang, Y. Chen, S. Fu, Z Cui. High density patterns fabricated in SU-8 by UV curing nanoimprint; Microelectron Eng., 84(2007), 872-876

• Z Cui, X. Wang, Y Li, G Y Tian, High sensitive magnetically actuated micromirrors for magnetic field measurement. Sensors and Actuators A 138 (2007) 145–150

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