2017/11/22 星期三

职称类别: 教授 副教授 讲师 助教
首字分类:
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刘海军

姓 名 刘海军

职 称 讲师
职 务
所属系 机械制造工程系
邮 箱 liuhaijun@hfut.edu.cn
电 话 15905606305/0551-62901632
个人基本情况
2009/09-2016/10,大连理工大学,机械工程学院,博士(硕博连读),导师为康仁科教授
2005/09-2009/06,山东大学,机械工程学院,学士(期间以优异成绩推荐免试攻读研究生)
主要研究方向
精密加工理论与技术,测量方法与技术
开设课程
暂无更多信息
近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖

发表论文
[1] Haijun Liu, Xianglong Zhu, Renke Kang, Zhigang Dong, Xiuyi Chen. Three-point-support method based on position determination of supports and wafers to eliminate gravity-induced deflection of wafers [J]. Precision Engineering, 2016,46:339-348. (SCI检索号:000382344600032)
[2] Haijun Liu, Zhigang Dong, Han Huang, Renke Kang, Ping Zhou. A new method for measuring the flatness of large and thin silicon substrates using a liquid immersion technique [J]. Measurement Science and Technology, 2015,26:115008. (SCI检索号:000366349200009)
[3] Haijun Liu, Zhigang Dong, Renke Kang, Ping Zhou, Shang Gao. Analysis of factors affecting gravity-induced deflection for large and thin wafers in flatness measurement using three-point-support method [J]. Metrology and Measurement Systems, 2015,22(4),531-546. (SCI检索号:000367003000007)
[4] 刘海军,朱祥龙,康仁科,董志刚. 反转法消除硅片重力附加变形适用性研究[J]. 人工晶体学报. 2015, 44(12): 3439. (EI检索号:20161202133309)
[5] Haijun Liu, Renke Kang, Shang Gao, Ping Zhou, Yu Tong, Dongming Guo. Development of a measuring equipment for silicon wafer warp [C]. Advanced Materials Research, 2013,797:561-565. (EI检索号:20134316904723)

发明专利
[1] 康仁科,董志刚,刘海军,佟宇,郭东明. 一种薄基片变形的测量方法与装置, 201310187846. 6 [P]. 发明类别:发明专利,授权日期:2016,01,06.
[2] 董志刚、康仁科、刘海军、高尚、朱祥龙、周平、陈修艺. 一种消除重力影响的薄基片变形测量方法, 201510496479.7 [P]. 发明类别:发明专利,公开日期:2015,11,18.

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