合肥工业大学机械工程学院真空工程系含两个专业：机械设计与自动化专业（真空模块）和过程装备与控制工程专业。现有教授及研究员4人，副教授5人，博士学位9人。实验室现有实验面积1200m2，装备有百余万圆的实验设备和仪器，可以开展包括真空镀膜、过程装备综合实验等多项科学实验。
真空作为一门交叉性极强的学科，其应用领域已经渗透到包括机械、电子、生物工程、材料科学、表面科学等各行各业之中。特别是近年来，一些新兴技术的飞速发展，给真空技术提供了越来越广阔的 应用舞台。从各种具有特殊功能的纳米材料研制，到集成微机电系统的制造、从大型粒子加速器及受控核聚变的运转，到人造卫星、宇宙飞船的成功上天，真空作为不可或缺的技术和条件，已经被越来越多的人们所充分认识。
真空模块前身是真空获得技术及设备专业，成立于1974年，是国内仅有的两个真空专业之一。30多年来已经培养本科毕业生1000余名。他们在国际国内真空科学技术领域大显身手、大展宏图，取得了骄人的业绩，其中不乏总工、教授、总经理、董事长。多年来，合肥工大真空专业毕业生不但活跃于国内外高精尖科学研究舞台，更是占据了国内真空行业的半壁江山。
本专业1993年获得“真空工程”硕士学位授予权，1997年根据国务院学位办调整的学科专业目录更名为“流体机械及工程”。 主干课程包括：机械学，控制工程，真空技术，薄膜技术等。
学科长期从事流体机械中稀薄气体(真空技术)方面的研究，造就了一支结构合理、学术水平高、科学研究和工程实践能力强、经验丰富的学术队伍，上世纪90年代以来，已获得国家重大装备科技进步一等奖1项，国家发明三等奖1项，省部级科技进步二、三等奖6项，发明专利5项，发表学术论文200余篇。已培养硕士研究生40余名。经过多年的建设与发展，本学科现已形成5个稳定的、特色明显的学术研究方向：流体机械现代设计理论与方法，流体测量与控制技术，真空应用技术，薄膜技术，微纳米加工技术。近年来主持承担国家高科技计划863探索导向类项目、国家自然基金、科技部创新、安徽省自然基金，以及多项企业合作项目。
本专业毕业生基本理论扎实，专业口径宽，实践能力强，思维活跃，富于开拓精神，社会需求量大，一次就业率高。主要进入国内重点研究院所、信息产业、航天、国家大科学工程以及国有大型企业，大多为京、津、沪、广东等经济发达地区。
过程装备与控制工程专业是 一个由机械、化学、电、能源、信息、材料工程等多个大类学科交叉融合而成的新型专业，主要涉及将自然界的各种物质通过化学、物理处理制成产品的过程中用于传热、传质、化学反应及输送所需的先进装备与控制技术。本专业以过程工业为研究和服务对象，具有多学科综合、集成、渗透和互为依托的特色。培养能够从事化 工、石油、制药、环保、能源、机电、电子等领域中的过程装备及控制工程的研究、开发、设计、制造技术和经营管理等工作的高等工程技术人才。
本 专业特点是专业口径宽、覆盖面广、工程特色显著、适应性强等。专业覆盖“过程”、“装备”、“控制”等工业领域。支撑“过程”的主要学科是“化学工程与技术”，支撑“装备”的主要学科是机械工程、材料科学与工程、动力工程及工程热物理等，支撑“控制”的主要学科是控制科学与技术、电子科学与技术等。本专业 的理论基础主要是机械学、流体力学、热力学、材料与加工学、化学、化学工程和工艺学、信息技术学科等。
本学科拥有一支结构合理、学术水平高、科学研究和工程实践能力强、经验丰富的学术队伍。经过多年的建设与发展，已形成3个稳定的、特色明显的学术研究方向：环保装备与技术，流体机械控制工程，真空应用技术。目前拥有环保装备博士、硕士授权点，以及流体机械及工程硕士授予权。近年来主持承担国家高科技计划863探索导向类项目、国家自然基金项目、科技部创新项目，安徽省自然基金，以及多项企业合作项目。
通过系统的理论学习和工程实践的培训，本专业的毕业生知识面广、工作能力和就业适应性强，可以从事石油化工、能源、动力、环保、轻工、食品、医药、制冷空调、过程装备控制及其自动化等领域的研究开发、生产运行和组织管理工作，也可以从事相关的教学和科研工作。
主要从事真空科学与工程、环保及清洁高效能源技术与装备的研究与开发。 研究方向：
（1）流体机械现代设计理论与方法；
（2）真空应用技术；
（3）真空薄膜技术及应用；
（4）环保装备及环境监测；
（5）清洁高效能源技术与装备。
