个人基本情况

教授，工学博士。

中国计量学会真空计量专委会委员

教育经历


1992.09-1996.07:合肥工业大学真空技术及设备专业本科

1996.09-1999.05:合肥工业大学流体机械工程（真空）专业硕士

2001.09-2005.06:中国科学技术大学国家同步辐射实验室博士

工作经历

2005.08-2006.08: 英国卢瑟福国家实验室 访问学者

2005.12-2010.12: 合肥工业大学机械与汽车工程学院副教授

2010.12至今 合肥工业大学机械与汽车工程学院教授

（2016.09-2017.09: 美国密歇根大学安娜堡分校 访问学者）

主要研究方向

1、微纳制造技术与应用：面向信息、显示和新能源器件应用，研究大面积微纳结构复制转移的关键理论、技术及其方法。

2、真空检测与计量技术：纳流控通道等新型超高真空计 量器具的可控制作技术及其表征、压强动态测试新原理、漏率测试方法及其系统等

开设课程

本科生课程：真空物理，微纳系统及加工；研究生课程：超高真空物理

近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖

主持或完成国家自然基金面上项目、国防基础科研重大项目、科技部863项目等十余项，参加国家重大专项、欧共体、英国EPSRC项目等五项。近年来指导研究生四人次获得“中国真空学会优秀硕士生奖学金”，八人次获得“研究生国家奖学金”。在J. Mater. Chem.、MicroelectEng、J. Vac. Sci. Tech. A&B、Vacuum等国内外著名学术期刊发表论文30余篇，授权发明专利十余项。

•国家自然科学基金面上项目：广域克努增数下纳流控通道型流导元件气体传输多重机理 (No.61871172) 2019-2022

•国家02专项（极大规模集成电路制造技术及成套工艺）项目：气体高灵敏度检测技术

•国家自然科学基金面上项目：聚合物纳流控通道的溶剂蒸发辅助自封闭机理研究(No.61574053) 2016-2019

•国防技术基础科研重大项目：气体微流量测量技术2017-2019

•深空探测专项项目：发射及再入过程中航天器内部压力变化仿真及控制分析2017-2018

•航天CAST基金项目：空间站舱外管道泄漏在轨监测技术研究2017-2018

•电子集团标志性技术项目：漏率测试新方法研究2016-2017

•航天CAST基金项目：特种真空检漏装置内气体分子的空间输运特性研究2016-2017

•863探索导向类项目(No.2008AA04Z303)：基于紫外压印技术的自支撑SU-8胶纳米流体系统2008-2011

部分论文：

• Biao Jiang, Xudi Wang* et al, New leak element using 1Dnanofluidic channels and indium sealing, Vacuum 156 (2018) 55–58

• Benmeng Wei, Xudi Wang* et al, Fabrication ofconductance-controllable standard leak elements on anodic aluminum oxide usinga selective coating method. J. Vac. Sci. Technol. B, 35(4): 040601(2017)

• Aiqing Zhu, Xudi Wang* et al, New leak assembly basedon fluidic nanochannels,J. Vac. Sci. Technol. A34, 050604 (2016)

•Yongheng Zhao, Yongjun Cheng, Xudi Wang*, New leakelement using anodic aluminum oxide, Vacuum 131 (2016) 111-114

•Zheng, Dingjie, Dong, Dong, Wang, Xudi*, Nanopatterningusing a simple bilayer lift-off process by transfer printing based onpoly(dimethylsiloxane) templates, Micro and Nano Letters, 2015(11), p 633- 636


•Dong Dong, Wei Wei, Dan Yang, Xudi Wang*, Helium gaspermeability measurements of polymeric membranes using the difference method,Vacuum 121 (2015) 173-176


•Li, Xiaojun,Wang, Xudi*, et al, Fabrication ofsize-controllable nanofluidic channels using angled physical vapor deposition,Microelectronic Engineering, 2012, 98:647-650


•Zhang, Yuping,Wang, Xudi, et al, Aligned ultralongnanowire arrays and their application in flexible photodetector devices,Journal of Materials Chemistry, 2012, 22(29):14357-14362


•Xiaojun Li,Yong Chen,Keqiang Qiu*, Xudi Wang*, Multiplecentimetre-long fluidic-channels with smooth and vertical sidewall fabricatedby novel NIL mould and thermal bonding,Microelectronic Engineering,2012,98(10):720-724

• X. Wang, J. Jin, X. Li et al, Low-pressure thermalbonding, Microelectron Eng. 88 (2011) 2427–2430

• X. Li, X.Wang*, et al, Fabrication of micro/nanofluidic system combining hybrid mask-mould lithography with thermal bonding, MicroelectronEng 87(2010), 722-725


• X. Wang, L. Ge, J. Lu, S. Fu, Z Cui. Fabrication ofEnclosed Nanofluidic channels by UV cured imprinting and thermal bonding ofSU-8 Photoresist. Microelectron Eng. 86(2009), 1347-1349


• X. Wang, Yifang Chen, Ling Wang and Zheng Cui.Fabrication of nanoimprint template in Si with high etch rate by non-switchDRIE process. Microelectron Eng. 85(2008), 1015-1017


• X. Wang, Y. Chen, S. Fu, Z Cui. Free-standing SU-8subwavelength gratings fabricated by UV curing imprint. Microelectron Eng.85(2008), 910-913


• X. wang, Y. liu,X. Xu, S. Fu, Z Cui. Reactive ion beametching of HfO2film and removal of sidewall redeposition. J. Vac. Sci. Technol. A ,24(4): 1067-1072 JUL-AUG 2006


• X Wang, Y. Chen, S. Fu, Z Cui. High density patternsfabricated in SU-8 by UV curing nanoimprint; Microelectron Eng., 84(2007),872-876


• Z Cui, X. Wang, Y Li, G Y Tian, High sensitivemagnetically actuated micromirrors for magnetic field measurement. Sensors andActuators A 138 (2007) 145–150